為獎勵國內廠商採用替代品與替代技術,經濟部陸續實施投資抵減的辦法。

1992年起認定CFCs之替代與回收設備為污染防治設備,適用較高比率之投資抵減及低利貸款。

1992年起CFCs替代與回收設備得以適用加速提列折舊。

1992年起國內無產製之使用CFCs替代品的儀器及設備免徵進口關稅。

自1993年起,中華民國臭氧層護協會每年舉辦「臭氧層護獎」徵選、評審活動,1997年該協會更名為「中華民國大氣層護協會」,擴大獎勵範圍為「大氣層護獎」,以獎勵對減量使用破壞臭氧層物質或開發替代技術、防制溫室效應及改善空氣品質等績效卓越單位,期鼓勵各界積極投入大氣層護工作。

自1995年7月起國內無產製之CFCs替代品,免徵進口關稅。

為了提高業者轉用替代品/技術的意願,對於國內無產製之技術設備特別提供投資抵減、低利貸款及加速提列折舊等優惠措施,並自1995年7月起對於國內無產製之替代品如HFCs等實施免徵進口關稅措施,降低業者所受到之經濟衝擊。

自民國99年5月12日起因立法院院會三讀通過制定「產業創新條例」,因此廢止「促進產業升級條例」。國內廠商可參考「產業創新條例」,辦理受輔導與投資抵減相關事宜。

為獎勵替代及研發有顯著成果的單位,以鼓勵各界積極投入臭氧層護工作,經濟部工業局自1993年起委由「中華民國臭氧層護協會(後改名為中華民國大氣層護協會)」舉辦「臭氧層護獎(後來擴大為大氣層護獎)」,徵選及評審出對減量使用管制物質或開發替代技術、防制溫室效應及改善空氣品質等績效卓越的單位。臭氧層護獎分為成效獎及技術獎二種,至目前為止,成效獎得獎單位包括宏碁電腦公司、私立元智工學院、東元電機公司、台灣松下公司、東元電機公司、國產汽車公司、恒偉工程公司、益企化學公司、歌林公司、聯華電子公司、泰盛企業公司、杜邦有德公司、財政部高雄關稅局等;而技術獎得獎單位包括台灣三洋電機公司、大同公司、台灣塑膠工業公司、聲寶公司、頃富工程公司、瑞勝公司、中興電工公司、台灣松下電器公司、東元電機公司等。